CMP在線檢測(cè)具有優(yōu)勢(shì)的高新技能

   CMP在線檢測(cè)可為超大粒徑顆粒提供可靠、的粒徑和計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，采用擁有的單顆粒測(cè)量技術(shù)和動(dòng)態(tài)自動(dòng)稀釋技術(shù)實(shí)現(xiàn)單顆粒依次檢測(cè)分析，具有的靈敏度、解析度和度，不存在顆粒間相互干擾問題。

   由于獲得的是真實(shí)粒度分布，因此測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好、可靠、統(tǒng)計(jì)精度高，適于檢測(cè)分析亞微米顆粒體系中較大顆粒的分布信息，動(dòng)態(tài)自動(dòng)稀釋和清洗系統(tǒng)使得測(cè)試方便快捷，只需通過鼠標(biāo)的單擊操作，即能幫助用戶在短時(shí)間內(nèi)完成從進(jìn)樣到檢測(cè)，進(jìn)而清洗系統(tǒng)的所有操作，使用戶獲得粒徑的詳細(xì)分布信息。CMP在線檢測(cè)校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制過程中，為了批與批之間的均勻性、一致性和穩(wěn)定性，必須對(duì)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制備工藝、均勻性和穩(wěn)定性評(píng)定要求、定值方法、不確定度評(píng)定方法、包裝方式、檢驗(yàn)規(guī)則等相關(guān)技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行統(tǒng)一的規(guī)定和要求。

   按照J(rèn)JG 1006-1994《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)技術(shù)規(guī)范》要求，CMP在線檢測(cè)校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制步驟基本有以下四個(gè)方面：首先，選擇合理的制備程序、工藝，并防止外來污染及待定特性量的量值變化，采用滿足顆粒計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)特殊要求無色透明平底瓶子分裝包裝儲(chǔ)存，便于在校準(zhǔn)過程中隨時(shí)觀察標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的用量與狀態(tài)；然后按照隨機(jī)數(shù)表由同批制備的樣品中隨機(jī)抽取樣品，組成檢查樣本，進(jìn)行均勻性檢驗(yàn)；再則標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)在規(guī)定的儲(chǔ)存或使用條件下，定期進(jìn)行穩(wěn)定性檢驗(yàn)；后在均勻性檢驗(yàn)和穩(wěn)定性檢驗(yàn)合格后進(jìn)行定值并評(píng)定不確定度。

   CMP在線檢測(cè)定值方法是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制的關(guān)鍵技術(shù)，定值是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的賦值，在顆粒計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定值方法研究中，國內(nèi)外顆粒度領(lǐng)域基本采用相同原理的方法，采用測(cè)量方法對(duì)顆粒計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)行定值。CMP在線檢測(cè)一般通過膜分離技術(shù)，將單位體積的顆粒計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)中的固體顆粒收集在超細(xì)的微孔濾膜上，使用光學(xué)顯微鏡或掃描電子顯微鏡采集微孔濾膜上顆粒的特征圖像，采用軟件統(tǒng)計(jì)分析不同顆粒粒徑的數(shù)量及大小，得出終定值結(jié)果。